Fotolitografi

365 nm ultraviyole ışık kullanan bir silikon devre levhası

Fotolitografi, bir fotomaske kullanılarak silikon devre levhası üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir.[1] Özellikle mikroçip çekirdekleri ile cep telefonu parçalarının üretiminde kullanılmaktadır.

Kaynakça

  1. ^ "Fotolitografi". Boğaziçi Üniversitesi. 15 Ocak 2017 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 1 Ocak 2017. 

Dış bağlantılar

  • BYU Photolithography Resources
  • Semiconductor Lithography15 Ocak 2017 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Overview of lithography
  • Optical Lithography Introduction27 Kasım 2005 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — IBM site with lithography-related articles
  • Immersion Lithography Article21 Mart 2006 tarihinde Wayback Machine sitesinde arşivlendi. — Shows how depth-of-focus is increased with immersion lithography
Taslak simgesiElektronik ile ilgili bu madde taslak seviyesindedir. Madde içeriğini genişleterek Vikipedi'ye katkı sağlayabilirsiniz.